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    日本Otsuka顯微分光測(cè)厚儀OPTM系列技術(shù)解析

    發(fā)布時(shí)間: 2025-07-14  點(diǎn)擊次數(shù): 333次
      日本Otsuka顯微分光測(cè)厚儀OPTM系列是一款高精度測(cè)量設(shè)備,廣泛應(yīng)用于研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域。該設(shè)備通過顯微分光技術(shù)實(shí)現(xiàn)高精度膜厚和光學(xué)常數(shù)測(cè)試,具備快速測(cè)量、安全結(jié)構(gòu)及個(gè)性化定制等功能。OPTM系列顯微分光膜厚儀能夠測(cè)量絕對(duì)反射率、多層膜厚、折射率和消光系數(shù),納米級(jí)測(cè)量,精度高。該設(shè)備采用分光干涉法,可進(jìn)行非破壞性和非接觸式厚度測(cè)量,測(cè)量速度可達(dá)1秒/點(diǎn)。
     
      OPTM系列的技術(shù)特點(diǎn)包括非接觸、非破壞式測(cè)量,量測(cè)頭可自由集成在客戶系統(tǒng)內(nèi),高精度、高再現(xiàn)性量測(cè)紫外到近紅外波段內(nèi)的絕對(duì)反射率,可分析多層薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))。單點(diǎn)對(duì)焦加量測(cè)在1秒內(nèi)完成,顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)(紫外 ~ 近紅外),獨(dú)立測(cè)試頭對(duì)應(yīng)各種inline定制化需求,最小對(duì)應(yīng)spot約3μm。
     
      此外,OPTM系列還具有技術(shù),如反射對(duì)物鏡,可物理性去除透明基板的里面反射,實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)定。3微米微區(qū)測(cè)量功能,通過軟件同時(shí)顯示樣品畫面和測(cè)定光采取部位,可很好確認(rèn)到測(cè)定點(diǎn)。自動(dòng)高精度mapping樣品臺(tái),標(biāo)配XY自動(dòng)平臺(tái),僅需輸入坐標(biāo)即可自動(dòng)多點(diǎn)檢測(cè)大面積樣品,實(shí)時(shí)獲取厚度分布圖。
     
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