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小型ECR原子/自由基束源（ERS-35）技術(shù)解析及應用前景

發(fā)布時間： 2023-09-12　　點擊次數(shù)： 713次

摘要：
小型ECR原子/自由基束源（ERS-35）是一種適用于MBE等超高真空設備的先進束源。本文將介紹其特點和設備規(guī)格，并重點探討其在MBE設備用氮/氧自由基源和表面清洗用原子氫源等應用領域的潛力。
介紹：
ERS-35采用了電子回旋共振放電技術(shù)，可在超高真空環(huán)境下提供穩(wěn)定的原子束或自由基束，廣泛應用于分子束外延（MBE）和其他超高真空設備中。其具備以下特點：
wanquan金屬密封：ERS-35與超高真空設備兼容，采用wanquan金屬密封設計，確保在真空環(huán)境中穩(wěn)定工作，避免任何氣體泄漏和污染。
易于操作的同軸電纜電源：ERS-35配備了易于操作的同軸電纜電源，簡化了功率供應的連接和控制，提高了設備的可操作性和穩(wěn)定性。
無金屬污染的介電襯里：為了確保高純度的束流輸出，ERS-35采用無金屬污染的介電襯里，有效減少了雜質(zhì)的產(chǎn)生和污染的風險。
帶偏壓電極的介電引出柵：ERS-35的介電引出柵設計了帶偏壓電極，擅長產(chǎn)生自由基束。這種設計允許束源輸出具有高度定向性和可調(diào)控性的自由基束。
設備規(guī)格：
連接真空端口標準：ICF70，與常見的超高真空設備接口標準兼容。
同軸連接器標準：N型，便于與其他設備進行連接和集成。
適用微波頻率：2.45GHz，與常用工業(yè)微波設備兼容。
允許微波功率：最大100W，提供充足的能量供應。
冷卻方式：水冷，確保設備在長時間運行中保持合適的溫度。
應用實例：
MBE設備用氮/氧自由基源：ERS-35能夠產(chǎn)生穩(wěn)定而高純度的氮或氧自由基束，可用于分子束外延（MBE）中的材料沉積和氣相外延生長，實現(xiàn)精確的薄膜和納米結(jié)構(gòu)的控制。
表面清洗用原子氫源：ERS-35的原子束輸出適用于表面清洗和表面修飾應用。氫原子束可以高效地清除表面的雜質(zhì)和氧化物，并恢復材料的純凈度和特性。
結(jié)論：
小型ECR原子/自由基束源（ERS-35）通過其wanquan金屬密封、易操作的同軸電纜電源和帶偏壓電極的介電引出柵等特點，廣泛應用于MBE設備用氮/氧自由基源和表面清洗用原子氫源等領域。隨著技術(shù)的進一步發(fā)展，ERS-35將為超高真空設備的研究和應用提供更多創(chuàng)新的可能性。

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